熱式微型液體流量計F7M與傳統(tǒng)流量計的區(qū)別

發(fā)布日期：2022-11-18      瀏覽次數(shù)：908

熱式微型液體流量計F7M與傳統(tǒng)流量計的區(qū)別

通過將熱敏 MEMS 傳感器與高耐腐蝕石英玻璃流路相結(jié)合，我們實現(xiàn)了數(shù) mL/min 的微量液體流量測量，這是使用傳統(tǒng)測量方法難以測量的高再現(xiàn)性。
開發(fā)理念易于使用，因為它不易受流體狀態(tài)變化（氣泡、脈動、流體溫度等）的影響，并且易于針對被測流體進行校正（校正基于熱導(dǎo)率流體）。通過測量瞬時流量和累計流量代替泵轉(zhuǎn)速、重量測量和流體供應(yīng)時間管理等替代方法，可以根據(jù)更可靠的測量值在制造過程中進行質(zhì)量控制和過程異常檢測。

與傳統(tǒng)流量計的比較



可測0.1mL/min

采用利用MEMS傳感技術(shù)的熱測量原理，可以測量過去難以穩(wěn)定測量的幾mL/min的微小流量。
（測量流量范圍：0.1～10mL/min、0.3～30mL/min、0.5～50mL/min）

體積小、重量輕、安裝方便

它比傳統(tǒng)產(chǎn)品更小、更輕。
不需要單獨的轉(zhuǎn)換器（放大器）。
它可以使用隨附的安裝支架從頂面（用于水平管道）輕松安裝。
也可安裝在垂直管道中（流向：底部→頂部）。



直線流道

由于流道是直的，壓力損失小，無積液，清洗方便。

通用性高

符合IP65防護結(jié)構(gòu)。
由于產(chǎn)品外表面未使用金屬材料，因此可用于易受液體飛濺的環(huán)境，提高了對腐蝕性流體的耐受性。
接液部分由石英玻璃（流路）和氟樹脂（接頭）組成，傳感器不與液體接觸，因此可用于多種流體（不腐蝕石英玻璃或聚四氟乙烯的流體）。




F7M測量原理



修正前后的輸出特性

測量范圍因流體的熱導(dǎo)率和密度而異，但可以使用校正功能來匹配輸出特性。