輻射溫度計(jì)在單晶硅提拉設(shè)備的溫度控制上的運(yùn)用

發(fā)布日期：2023-03-06      瀏覽次數(shù)：822

輻射溫度計(jì)在單晶硅提拉設(shè)備的溫度控制上的運(yùn)用

多晶硅在坩堝中熔化時(shí)的溫度控制和晶種后旋轉(zhuǎn)提拉時(shí)的溫度控制。
從升降機(jī)視口進(jìn)行的溫度測量。



單晶硅提拉過程中的溫度控制。

選型要點(diǎn)

對(duì)于硅的溫度測量，在 1.1 μm 或更小的波長下進(jìn)行溫度測量是最佳的，因?yàn)闇囟鹊陌l(fā)射率變化很小。
FTKX 系列和 FLHX 系列是理想的，因?yàn)樗鼈兙哂袕V泛的遠(yuǎn)距離、小光點(diǎn)類型（從 φ0.15 起）。由于光纖頭結(jié)構(gòu)緊湊且耐熱150°C，因此即使環(huán)境溫度稍高也可以安裝。
頭分離型無需采取輻射熱對(duì)策。

所選機(jī)型

• NEW!在惡劣環(huán)境和狹小空間也能自由使用的1ms光纖型
  半階型

  

  光纖式輻射溫度計(jì)FTKX系列

  測量溫度范圍：100°C至2000°C

• 纖維型（耐熱磁場）

• 高溫

• 用于通過石英

• 0.1ms/1ms快速響應(yīng)

• 用于金屬

• NEW! 1ms 輻射溫度計(jì)，規(guī)格可根據(jù)測量對(duì)象改變

  

  無纖維輻射溫度計(jì) FLHX 系列

  測量溫度范圍：90°C 至 2000°C

• 高溫

• 用于通過石英

• 0.1ms/1ms快速響應(yīng)

• 用于金屬