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    日本芝浦電子shibaura羅茨泵 TMB系列

    訪問次數(shù):1466

    更新日期:2025-05-02

    簡要描述:

    日本芝浦電子shibaura羅茨泵 TMB系列
    由于使用電機直接連接型,因此幾乎不會產生灰塵。
    減少振動和噪音
    易于維護和檢查的結構
    逆變器控制(可選)可實現(xiàn)大氣壓下的排氣

    日本芝浦電子shibaura羅茨泵 TMB系列

    日本芝浦電子shibaura羅茨泵 TMB系列

     

    TMB系列的特點

    • 由于使用電機直接連接型,因此幾乎不會產生灰塵。
    • 減少振動和噪音
    • 易于維護和檢查的結構
    • 逆變器控制(可選)可實現(xiàn)大氣壓下的排氣

    TMB系列陣容

    模型

    類型

    單位單位

    TMB-302

    TMB-600

    設計排氣速度

    位移位移

    50 Hz,m 3 /小時

    250

    500

    60 Hz,m 3 /小時

    300

    600

    到達壓力

    極限壓力

    10 -2

    10 -2

    吸入側臨界壓力

    z大工作壓力

    50 Hz,m 3 /小時

    2.7 2.7

    2.7 2.7

    60 Hz,m 3 /小時

    2

    2

    所需馬達

    發(fā)動機

    V,相,千瓦

    200、3、0.75

    200、3、2.2

    轉速

    轉速

    50 Hz,m 3 /小時

    3,000

    1,500

    60 Hz,m 3 /小時

    3,600

    1,800

    進氣口

    入口

     

    VF-80

    VF-80

    排氣口

    出口

     

    VF-80

    VF-80

    用油

    泵油

     

    露臺油S46

    露臺油S46

    油量

    油容量

    大號

    1個

    2.8

    大眾

    大眾

    公斤

    93

    242

    尺寸(寬x深x高)

    尺寸尺寸

    毫米

    708 x 320 x 250

    963 x 416 x 350

    冷卻方式

    冷卻系統(tǒng)

     

    風冷

    風冷

    冷卻水量

    冷卻水

    升/分鐘

    ---

    ---

    輔助泵

    后備泵

     

    DRP-1500,RP-1200ZⅡ

    DRP-1500

    日本芝浦電子shibaura羅茨泵 TMB系列 

    模型

    類型

    單位單位

    TMB-1500

    TMB-2500

    設計排氣速度

    位移位移

    50 Hz,m 3 /小時

    1,350

    2,070

     

     

    60 Hz,m 3 /小時

    1,630

    2,500

    到達壓力

    極限壓力

    10 -2

    10 -2

    吸入側臨界壓力

    z大工作壓力

    50 Hz,m 3 /小時

    2

    2

     

     

    60 Hz,m 3 /小時

    1.3 1.3

    1.3 1.3

    所需馬達

    發(fā)動機

    V,相,千瓦

    200、3、3.7

    200、3、5.5

    轉速

    轉速

    50 Hz,m 3 /小時

    1,500

    1,500

     

     

    60 Hz,m 3 /小時

    1,800

    1,800

    進氣口

    入口

     

    VF-150

    VF-200

    排氣口

    出口

     

    VF-100

    VF-100

    用油

    泵油

     

    露臺油S46

    露臺油S46

    油量

    油容量

    大號

    4.2

    5.6

    大眾

    大眾

    公斤

    490

    664

    尺寸(寬x深x高)

    尺寸尺寸

    毫米

    1,228 x 520 x 440

    1,359 x 580 x 495

    冷卻方式

    冷卻系統(tǒng)

     

    水冷

    水冷

    冷卻水量

    冷卻水

    升/分鐘

    ---

    ---

    輔助泵

    后備泵

     

    KP-4500BG

    KP-7500BG

     

    筆記

    • 我們的羅茨真空泵是根據(jù)以下規(guī)格設計和制造的。
      (1)吸入氣體的種類空氣和惰性氣體(N 2,CO 2,He,Ne,Ar,Kr,Xe,Rn ? ?)
      (2)進氣溫度5-40℃
      (3)環(huán)境溫度
      5-40 ℃ (4)常壓泵壓力約1.3k-10 -1 Pa
      (5)其他切勿施加大氣壓。切勿吸入水等液體。
        *如果使用條件與上述條件不同,請與我們聯(lián)xi。
    • 在以下應用中使用時,標準真空泵會使油和腐蝕部件變質,導致排氣性能下降,泵體壽命極短。
      (1)腐蝕性氣體(Cl 2,CCl 4,CF 4,BBr 3,HBr 4 ...)[示例]離子注入,蝕刻,CVD等。
            *即使是特殊規(guī)格的真空泵,也具有易燃易爆性不要吸入強物質。
      (2)起停次數(shù)多時

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