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    哈司特鎳合金壓力傳送器 壓力傳感器

    訪問(wèn)次數(shù):1779

    更新日期:2025-05-02

    簡(jiǎn)要描述:

    日本pureron哈司特鎳合金壓力傳送器PC-600系列
    這種物質(zhì)是產(chǎn)生微粒子造成半導(dǎo)體工藝污染的原因。因此,我們采用了遠(yuǎn)比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金&#174; 開(kāi)發(fā)出這種對(duì)應(yīng)腐蝕性氣體的壓力傳感器PC-600系列。

    哈司特鎳合金壓力傳送器 壓力傳感器
    類型數(shù)字壓力表

    日本pureron哈司特鎳合金壓力傳送器PC-600系列

    半導(dǎo)體設(shè)備的生產(chǎn)線中、HBr、HCl等鹵素反應(yīng)性、腐蝕性特殊氣體大量被使用。這些腐蝕性氣體會(huì)在使用的氣體供給管道、壓力傳感器、氣體過(guò)濾器等不銹鋼內(nèi)表面吸附并 和少量的水分反應(yīng),形成腐蝕生成物。這種物質(zhì)是產(chǎn)生微粒子造成半導(dǎo)體工藝污染的原因。因此,我們采用了遠(yuǎn)比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金® 開(kāi)發(fā)出這種對(duì)應(yīng)腐蝕性氣體的壓力傳感器PC-600系列。

     

    • 高耐腐蝕性
      對(duì)應(yīng)HBr、HCl等鹵素反應(yīng)性、腐蝕性特殊氣體,氣體接觸部分采用遠(yuǎn)比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金®,并進(jìn)行了電解研磨處理,充分發(fā)揮了其出色的耐腐蝕性能力。
    • 高精度、高可靠性
      直線性、滯后性、重復(fù)精度的影響造成和優(yōu)擬合線的偏差為±0.25%,具備高精度和高可靠性。
    • 測(cè)定范圍寬
      表壓的壓力范圍從0~172.4KPA(1.76KGf/cm2)到20,684KPa(210KGf/cm2),壓的壓力范圍為0~2,586torr。
    • 使用壽命長(zhǎng)
      各測(cè)量范圍都通過(guò)了100萬(wàn)次的循環(huán)耐久測(cè)試。
    • 輸出
      輸出可以選擇4~20mA或0~5V,可以連接各種數(shù)字式面板儀表和可編程邏輯控制器。

    日本pureron哈司特鎳合金壓力傳送器PC-600系列

    規(guī)格

     

    型號(hào) 表壓※
    PSI25G50G100G200G500G3000G15A25A50A
    壓力范圍KPa0~172.40~344.70~689.50~1,378.90~3,447.30~20,6840~103.40~172.40~344.7
    kgf/cm20~1.760~3.520~7.030~14.060~35.160~210.9---
    torr------0~7760~1,2930~2,586
    精度(% 全量程)±0.5%±0.25%±0.5%

     

    ※可選項(xiàng):表壓類型的輸出基準(zhǔn)可以為真空(-100KPa)。(訂購(gòu)時(shí)需要指ding)

     

    過(guò)載壓力全量程×2
    保存溫度范圍-40℃ ~ 85℃ (未通電)
    溫度補(bǔ)償范圍0℃ ~ 70℃
    溫度漂移±0.05% FS/℃
    外部泄漏量2×10-11Pa?m3/sec
    氣體(液體)接觸部分哈司特鎳合金®
    連接零件1/4" Gasket seal、 Compression seal、其它

     

    型號(hào)604605
    激勵(lì)電源電壓DC 12~26VDC 12~26V
    信號(hào)輸出4~20mA0~5V
    跨度16mA±0.16mA5V±0.5V
    偏移量4mA±0.4mA0V±0.1V

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