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    3D 表面形狀測(cè)量系統(tǒng)

    訪問次數(shù):2208

    更新日期:2025-05-02

    簡(jiǎn)要描述:

    日本filmetrics 3D 表面形狀測(cè)量系統(tǒng)Profilm 3D
    它是一個(gè)使用白光干涉技術(shù)的系統(tǒng),可以無接觸地測(cè)量包括臺(tái)階和粗糙度在內(nèi)的三維形狀。
    Profilm 3D 適用于測(cè)量小樣品,涵蓋了測(cè)量 3D 形狀所需的所有功能,并且比傳統(tǒng)產(chǎn)品更緊湊、更便宜。

    3D 表面形狀測(cè)量系統(tǒng)

    日本filmetrics 3D 表面形狀測(cè)量系統(tǒng)Profilm 3D

    它是一個(gè)使用白光干涉技術(shù)的系統(tǒng),可以無接觸地測(cè)量包括臺(tái)階和粗糙度在內(nèi)的三維形狀。
    Profilm 3D 適用于測(cè)量小樣品,涵蓋了測(cè)量 3D 形狀所需的所有功能,并且比傳統(tǒng)產(chǎn)品更緊湊、更便宜。
    各種測(cè)量模式,包括適合高精度測(cè)量微米級(jí)臺(tái)階和形狀的垂直掃描干涉測(cè)量法 (WLI) 和適合測(cè)量納米級(jí)形狀和粗糙度的相移干涉測(cè)量法 (PSI)。包括標(biāo)準(zhǔn)步驟樣品在內(nèi)的一切都是標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備,包括用于放大物鏡的左輪、自動(dòng)載物臺(tái)以及便于操作、分析和管理測(cè)量數(shù)據(jù)的軟件。

    主要特點(diǎn)

    • 低價(jià)!
      在配備所有必要功能的同時(shí)實(shí)現(xiàn)低價(jià)
    • 納米級(jí)高分辨率
      采用相移干涉法實(shí)現(xiàn)高分辨率
    • 全標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
      XY自動(dòng)載物臺(tái),手動(dòng)左輪,自動(dòng)光強(qiáng)調(diào)節(jié),自動(dòng)對(duì)焦功能
    • 緊湊的外殼
      主體的占地面積為 30 x 30 cm 的緊湊設(shè)計(jì)。
    • 配備 WLI 和 PSI 兩種測(cè)量模式 一臺(tái)設(shè)備即可
      測(cè)量臺(tái)階測(cè)量和粗糙度測(cè)量
    • 操作
      簡(jiǎn)單 基本操作只是簡(jiǎn)單的鼠標(biāo)操作
    • 符合 ISO 標(biāo)準(zhǔn)的粗糙度測(cè)量符合
      標(biāo)準(zhǔn) ISO25178
    • 可擴(kuò)展性
      多種物鏡選擇,數(shù)據(jù)拼接功能

    日本filmetrics 3D 表面形狀測(cè)量系統(tǒng)Profilm 3D

    主要應(yīng)用

    半導(dǎo)體晶圓凸塊、CMP焊盤等
    醫(yī)療領(lǐng)域注射針、人工關(guān)節(jié)、支架等
    安裝板銅線、凸點(diǎn)、透鏡等

    測(cè)量規(guī)格?

     垂直掃描白光干涉測(cè)量法 (WLI)相移干涉測(cè)量 (PSI)
    測(cè)量范圍50 納米 – 10 毫米0 – 3 微米
    準(zhǔn)確性0.7%——
    再現(xiàn)性0.1%——
    反射范圍0.05% – 99%0.05% – 99%


    設(shè)備規(guī)格

    XY自動(dòng)載物臺(tái)100mm x 100mm
    Z軸驅(qū)動(dòng)范圍100mm
    壓電驅(qū)動(dòng)范圍500微米
    掃描速度12微米/秒
    相機(jī)2592 x 1944(500 萬(wàn)像素)
    體重15公斤
     

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