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更新日期：2025-05-02
簡要描述：
日本ulvac熱陰極電離真空計SH200-A/R/E可連接不同量程的接點：采用多離子規(guī)，可根據(jù)應(yīng)用選擇接點。
日本ulvac熱陰極電離真空計SH200-A/R/E
這是一個新系列的換能器型真空計“G-TRAN系列多離子計"，可以連接不同測量范圍的探針。本產(chǎn)品為BA型電離真空計，可測量超高真空。在繼承傳統(tǒng)壓力測量范圍寬、運行成本低的理念的同時，我們對其進行了改進，使其更加人性化。
特征
可連接不同量程的接點：采用多離子規(guī)，可根據(jù)應(yīng)用選擇接點。
緊湊：比傳統(tǒng)產(chǎn)品小得多（控制器體積減少 56%），最小的級別
提高可用性：PC/智能手機連接可實現(xiàn)設(shè)定點設(shè)置、狀態(tài)確認等。
產(chǎn)品陣容增強：除了模擬輸出規(guī)格（SH200-A）和串行通信規(guī)格（SH200-R）之外，還將增加EtherCAT規(guī)格（SH200-E）
燈絲壽命通知功能：燈絲功率監(jiān)控可提前通知燈絲壽命
壓力測量范圍廣：可測量從大氣壓到高真空范圍（1 x 10 +5至 5 x 10 -8 Pa）（連接可選單元 SWU10-R 時）
精確的大氣壓測量：可以檢查腔室開口的大氣壓（連接可選單元 SAU 時）
用途
用于半導(dǎo)體和電子元件等各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域的過程控制
用于檢查具有許多工藝室的各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域的極限壓力，例如在線和單晶片系統(tǒng)。
用于高真空/超高真空設(shè)備的壓力測量
日本ulvac熱陰極電離真空計SH200-A/R/E
規(guī)格
| 模型 | SH200-A | SH200-R | SH200-E（預(yù)定發(fā)布） | |
| 規(guī)格 | 標準規(guī)格 | 串行通信規(guī)范 | EtherCAT 規(guī)格 | |
| 自適應(yīng)多離子規(guī)傳感器 | M-44(NW16)、M-45(NW25)、M-46(ICF070) | |||
| 可連接傳感器 | 多離子規(guī)傳感器：1 個 皮拉尼規(guī) SWU10-R：1 個（選項） 大氣壓傳感器 SAU：1 個（選項） | |||
| 重復(fù)性 (N 2 ) | SH200 獨立模式：±2% | |||
| 采樣時間 | 60ms 5次移動平均處理 | |||
| 測量值輸出 | 輸出電壓 DC 0 至 10V LOG 輸出 0.75V/1 位 壓力轉(zhuǎn)換公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^ | |||
| 更新時間 | 60毫秒 | |||
| 控制輸入信號 | 使用 FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF 集電極開路輸入、負邏輯 操作 * FIL ON/OFF 信號使用因模式而異 | - | - | |
| 控制輸出信號 | 傳感器錯誤，設(shè)定點 1/2/3，發(fā)射有效， 燈絲功率監(jiān)控 額定值：24V MAX，50mA MAX，飽和電壓 1V | - | - | |
| 串行通信規(guī)范 | - | RS232C/RS-485 | EtherCAT | |
| LED顯示屏 | POWER/ERROR：電源、錯誤 LED（閃爍狀態(tài)根據(jù)每種模式而變化） | |||
| SET1：設(shè)定點1 LED SET2：設(shè)定點 2LED SET3：設(shè)定點 3LED | - | - | ||
| 發(fā)射電流 | 1mA（1×10 -3 Pa以下）、10μA（1×10 -3 Pa以上） | |||
| 脫氣 | 電子轟擊法（電子轟擊）1mA，330V | |||
| 傳感器耐壓 | 2×10 +5 Pa（絕對壓力） *法蘭和卡箍的承受壓力必須單獨考慮。 | |||
| 傳感器內(nèi)部容積 | 17cm3 （ M-44）、19cm3 （ M-45）、17cm3 （ M-46） | |||
| 工作溫度限制 | 10 至 50°C | |||
| 工作濕度范圍 | 15 至 80%（無冷凝） | |||
| 貯存溫度 | -20 至 65°C（未通電時無冷凝） | |||
| 知識產(chǎn)權(quán)保護等級 | IP30 | |||
| 電源電壓 | 20 至 28 VDC（紋波、噪聲 1% 或更低）、8 W 或更低 | |||
| 輸入/輸出連接器 | D-sub 15針（M2.6螺絲） | |||
| 大量的 | 控制器：約 280g 探頭（M-44，M-45）：80g，（M-46）：300g | |||
| 尺寸 W×D×H | 69mm×63mm×90mm（控制器部分） | |||
| 符合標準 | 行政長官 | |||
| 選項 | 多離子計傳感器 | M-44(NW16)、M-45(NW25)、M-46(ICF070) 材質(zhì)：燈絲 1,2 -Ir/Y 2 O 3涂層 其他：PtC-Mo、SUS304、W、Kovar glass、Kovar/Ni電鍍 | ||
| 皮拉尼規(guī) | SWU10-R *也兼容傳統(tǒng) SPU | |||
| 皮拉尼壓力傳感器 | SWP-16(NW16)、SWP-25(NW25)、SWP-R1/8(R1/8)、SWP-P18(Φ18管端)、SWP-P15(Φ15管端) 材質(zhì)：燈絲-Pt，其他- BS/Ni、電鍍、鎳、焊料 | |||
| 大氣壓傳感器 | SAU(NW16) 材質(zhì)：SUS316L | |||
| 單元電纜 | GUC-200P（SWU用）：0.5m、1m、2m GUC-200A（SAU用）：0.5m、1m、2m | |||
| 顯示單元 | 1CH：ISG1（使用DC24V供電） | |||
| 顯示單元電纜 | SH200 和顯示單元之間的電纜 2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30m, 35m, 40m | |||
| 連接器 | 輸入/輸出連接器（D-sub15-socket（M2.6mm螺絲）） | |||
| 其他 | 檢驗報告、一般校準測試報告、JCSS校準證書 | |||
