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    日本sscooling半導(dǎo)體冷水機(jī)組Nikola 3K/5K 實(shí)驗(yàn)室冷水機(jī)

    訪問(wèn)次數(shù):1289

    更新日期:2024-03-24

    簡(jiǎn)要描述:

    日本sscooling半導(dǎo)體冷水機(jī)組Nikola 3K/5K
    用于等離子刻蝕和其他半導(dǎo)體應(yīng)用的高容量熱電冷水機(jī)組

    日本sscooling半導(dǎo)體冷水機(jī)組Nikola 3K/5K 實(shí)驗(yàn)室冷水機(jī)
    品牌其他品牌產(chǎn)地進(jìn)口
    冷卻方式水冷式儀器種類分體式

    日本sscooling半導(dǎo)體冷水機(jī)組Nikola 3K/5K

    image.png

    • 我們專為半導(dǎo)體加工而設(shè)計(jì)的最高容量冷水機(jī)組

    • 3,000 或 5,000 瓦的冷卻能力

    • ±0.05°C 溫度穩(wěn)定性/重復(fù)性

    • 兩種泵選項(xiàng),流量高達(dá) 10 gpm,壓力高達(dá) 100+ psig

    • 減少晶圓間的變化,消除晶圓效應(yīng)

    • 比基于壓縮機(jī)的冷水機(jī)組節(jié)能高達(dá) 80%

    • 采用熱電技術(shù),可靠性高,維護(hù)成本低

    • 模塊化設(shè)計(jì),易于維護(hù)

    • 消除氟利昂和其他有害制冷劑,符合新的環(huán)境法規(guī)

    • 使用更少的設(shè)施水和昂貴的冷卻劑,如氟惰性或高登

    • 通信接口可用于 AMAT、LAM、TEL 和 Hitachi 系統(tǒng)

    • 通用電源 – 插入即可在世界任何地方使用

    • 等離子蝕刻、等離子灰分、計(jì)量、CMP 和其他工藝的解決方案

    規(guī)格

    工作范圍:
    -10°C 至 80°C
    環(huán)境溫度:
    10°C 至 40°C 無(wú)冷凝
    穩(wěn)定性/可重復(fù)性:
    恒定負(fù)載下± 0.05°C(即使在接近環(huán)境溫度時(shí))
    制冷量*:
    尼古拉 3K:3000 瓦 @ 20°C(20°C 設(shè)施用水) 尼古拉 5K:5000 瓦 @ 20°C(20°C 設(shè)施用水)
    冷卻液/工藝流體:
    針對(duì)氟惰性/高登或HFE流體進(jìn)行設(shè)置
    提供可選的乙二醇/水配置
    工藝流體接頭:
    3/4“ 世偉洛克(316 不銹鋼)
    泵:
    磁耦合渦輪機(jī)(高功率或高功率)
    流量:
    高達(dá) 10 加侖/分鐘(38 升/分鐘),流量和
    壓力可調(diào)(10 至 100 psig)
    油箱容積:
    10 升(2.6 加侖),帶 2 個(gè)液位傳感器
    設(shè)施用水:
    25 升/分鐘(6 加侖/分鐘)@ 7-25°C 過(guò)濾,處理過(guò)的循環(huán)設(shè)施冷卻水,pH 6.5 至 8.2
    設(shè)施水配件:
    3/4“ 世偉洛克(316 不銹鋼)
    N2/CDA(必需):
    500 sccm -30°C 露點(diǎn)或更低的 CDA 或 N2,
    30-60 psig (2-4 bar),用于低溫操作
    接液材料:
    工藝:鋁,不銹鋼和聚合物設(shè)施
    :密封硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁
    和不銹鋼
    尺寸(寬 x 深 x 高):
    22 英寸 x 28 英寸 x 35 英寸(56 厘米 x 71 厘米 x 89 厘米)
    重量:
    ~300 磅(136 千克)干
    電源輸入:
    200-240 VAC 3 相,50/60 Hz,最大 20/30 A
    斷路器:
    20/30 安培 480 VAC 3 極,帶 GFCI
    遠(yuǎn)程EMO:
    外部干接點(diǎn)
    通信:
    泛林, 應(yīng)用材料公司, RS232, 其他
    警報(bào):
    溫度、液位、系統(tǒng)或組件
    故障(顯示、干接點(diǎn)和機(jī)器接口)
    標(biāo)準(zhǔn):
    半 S2-0200,符合 F47 標(biāo)準(zhǔn),CE
    保證:
    2 年



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